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示例图片二

匀胶旋涂仪

    CIF匀胶机转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
  1. 详细信息

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产品特点

采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。

5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置)可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,最多100个阶段

内置水平校准装置,最大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂

多重安全保护

          电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;

          盖子自锁功能防止飞片盖子弹开伤人;

          双重安全上盖聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,最大限度保证实验人员安全。

一机两用,根据不同样品可选真空盘和非真空卡盘两种旋涂模式。

不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器苛刻条件下能正常运行

适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。

技术参数

型号

转速(转/分)

转速稳定度

匀胶时间

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圆片Φ5-Φ100,方片最大100x100

310x260x250